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在“园区力量”支持下,敏芯股份成长为“科创板MEMS第一股”—— 

“中国芯”里的中国心

□苏报驻园区首席记者 董捷

红外测温仪要“感知”人体温度,必须有热电堆传感器;智能手机每次语音输入,都要通过声学传感器……随着越来越多智能化交互场景的出现,作为核心零部件的微机电系统(MEMS)逐渐走入日常生活。“如果把集成电路比作大脑,那么MEMS相当于能感知物理世界的五官。”每当谈起自己深耕多年的领域,敏芯股份创始人、董事长李刚总是用一句浅显易懂的描述来开场。伴随着中国MEMS产业从0到1的发展,敏芯也成长为“科创板MEMS第一股”,成为拥有MEMS产品芯片设计、晶圆制造、封装和测试环节自主核心技术的平台型企业,以实际行动串起了中国整个MEMS产业链。

2007年落户园区,敏芯发展的起点,恰逢园区布局纳米技术应用产业的起步阶段。没有商业经验、缺乏启动资金,带着一身技术和一腔创业热情的李刚,就这样与园区有了第一次邂逅。随后,李刚团队顺利通过了园区领军人才计划,获得了资金支持。“元禾控股就给了我们一笔百万美元级的投资,推动了公司最初的发展。”李刚说。

当时,国内MEMS没有完整的产业链,敏芯不光缺少研发和分析检测平台,也无法进行晶圆量产代工、封装代工和测试。一边是全力布局新兴产业先手棋的园区,一边是一心要做出“中国芯”的敏芯,双方就此开启了一段携手同进之路。接下来,园区通过引入中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所等科研平台,以提供公共平台的模式助力企业研发。同时,引入产业链上下游企业,并借助各项优惠政策给予支持。“后来,政府又建设了中试平台,就这样产业链逐渐完整起来,我们一些产品的小批量中试能顺利完成了。”李刚说。

起步早,往往拥有先发优势,但也意味着要踩无数的“坑”。“不同类型的MEMS传感器拥有不同的机械特性,一种工艺路线只能对应一种传感器,因此芯片和工艺的研发必须同时进行。”李刚说,即使迈过了工艺开发的第一步,M芯片制造的产能利用率及良率也是绕不开的难题。回顾敏芯14年的创业史,李刚认为,每一个艰难的“爬坡”时刻,以元禾控股为代表的“园区力量”始终在他们背后给予支撑。“除直接投资和园区的政策支持外,元禾控股凭借完整的创投生态在企业上市、人才招聘方面给了我们巨大的帮助。”

应用场景涵盖智能手机、平板电脑、智能家居、可穿戴设备等消费电子产品,目前,敏芯除了在消费类电子领域深耕外,也积极向汽车、工控、医疗等领域进军,MEMS声学传感器出货量稳居全球第四。随着物联网和人工智能技术的不断发展,传感器成为物联天下的基础。拥有技术平台优势的敏芯,也将迎来全新机遇。“国内市场大、层次多,新的应用层出不穷,我们相信未来还有很多颠覆的机会,实现‘中国芯’的加速突围。”李刚说。

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